PT-5SMT
腔體材質(zhì):石英耐熱玻璃
供電電源: AC220V
工作電流: 整機(jī)工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率: 0-200W / 0-300W可調(diào)(射頻匹配一體)
射頻頻率: 13.56MHz
頻率偏移量: 小于0.2KHz
特性阻抗: 50歐姆,自動(dòng)匹配
真空度: 1pa-30Pa
氣體路數(shù): 雙路氣體輸入(高精密浮子流量計(jì))
氣體流量: 10—160ml/min(可調(diào))
過程控制: PLC人機(jī)界面自動(dòng)與手動(dòng)方式
清洗時(shí)間: 1-9999秒鐘可調(diào)
功率大小 10%-100可調(diào)
內(nèi)腔尺寸 Φ150×270Lmm 5L
外形尺寸: 560×540×550mm L×W×H
真空泵: 飛越真空泵VRD-4 (含油霧過濾器)
真空室溫度: 小于30°C
冷卻方式: 強(qiáng)制風(fēng)冷