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等離子清洗機(jī)

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小型真空等離子表面處理機(jī)
等離子表面處理機(jī)-小型等離子清洗機(jī)-等離子表面處理機(jī)廠家
  • PT-10SMT 石英射頻等離子清洗機(jī)

PT-10SMT 石英射頻等離子清洗機(jī)

類別：小型真空等離子表面處理機(jī)

簡(jiǎn)介： 低溫活化表面處理設(shè)備 等離子去膠機(jī) 晶圓等離子清洗裝置 小型等離子設(shè)備

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  • 產(chǎn)品特點(diǎn)
  • 應(yīng)用領(lǐng)域
PT-10SMT
腔體材質(zhì)： 石英耐熱玻璃
供電電源： AC220V
工作電流： 整機(jī)工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率： 0-300W/0-600W可調(diào)（射頻匹配一體）
射頻頻率： 13.56MHz
頻率偏移量： 小于0.2KHz
特性阻抗： 50歐姆，自動(dòng)匹配
真空度： 10pa-300Pa
氣體路數(shù)： 雙路氣體輸入（高精密浮子流量計(jì)）
氣體流量： 10—160ml/min(可調(diào))
過(guò)程控制： PLC人機(jī)界面自動(dòng)與手動(dòng)方式
清洗時(shí)間： 1-9999秒鐘可調(diào)
功率大?。?0%-100可調(diào)
內(nèi)腔尺寸：直徑200×深度320mm     10L
外形尺寸： 650×550×580mm L×W×H
真空泵： 飛越真空泵VRD-8（含油霧過(guò)濾器）
真空室溫度： 小于30°C

冷卻方式： 強(qiáng)制風(fēng)冷


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